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关键词:   qing氟酸     氟化qing铵     氟化铵     过硫酸铵     过硫酸钠     过硫酸钾  
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qing氟酸的蚀刻性neng
作者:long8娱乐网zhi化工     fa布日期:2019-07-05     liu览次shu:     
美国AT&T公si的Hansonliyong有机物对蚀刻速du的影响,tong过30%丙烯乙二醇、2~7M氟化铵、1~9Mqing氟酸等物质,keyi把蚀刻的速du从0.75um/min降低dao0.25um/min,huaiketong过调jie有机物的种类和浓du来调jie蚀刻速du。工作温du在16~22℃,对SI或陶瓷衬dimei有影响。日本dian装株式hui社的井野功zhiliyongEDTA类化合物的缓蚀作yong来对蚀刻液进行调jie。you于EDTA的存在,keyi在表面xing成有效的薄膜,nengdadao平缓的蚀刻速du,gai蚀刻液工作在chang温下。美国Rolls-Royce的Broughtonliyong硫酸和guiqing氟酸的联合作yong有效控制过kuai的蚀刻,工作温duwei室温。两种蚀刻液的蚀刻均匀性都很好,yong于dian子 封装工艺中,yi降低蚀刻速du来ti高long8娱乐网zhi的表面特性。